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Mesure directe de l'électromigration sur des couches métalliques à l'aide de traceurs radioactifs
K.V. Reddy, J.J.B. Prasad, F. Bénière

Mesure directe de l'électromigration sur des couches métalliques à l'aide de traceurs radioactifs

Science & Mathematics Published 1983 Verification Pending

Overview & Synopsis

Nous avons mis au point une méthode très précise de mesure du déplacement par électromigration des atomes dans des rubans métalliques. Elle est basée sur le marquage isotopique, l'autoradiographie et le comptage de la radioactivité à travers une fente. L'incertitude relative sur le seul déplacement est égale à 1 %. La méthode a été testée avec succès sur l'électromigration dans l'indium en couche mince. La mobilité a pu ainsi être mesurée entre 100 et 150°C où elle suit la loi d'Arrhénius : µT = 3,69 x 1021 exp(- 2,00/kT) V-1.cm 2.s-1.K.

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Document Information

Document Title Mesure directe de l'électromigration sur des couches métalliques à l'aide de traceurs radioactifs
Author / Organization K.V. Reddy, J.J.B. Prasad, F. Bénière
Subject & Discipline Multidisciplinary Academic Open Research
Categories Science & Mathematics
Publication Year 1983
License / Rights Open Access / Creative Commons
Resource Verification Listed PDF (Verification Pending)
Original Host Website HAL Open Science (hal.science)
File Format application/pdf (Portable Document Format)
Language EN
Catalog ID DOC-5254
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