Détermination de la résistance d'une couche sur substrat non isolant
Overview & Synopsis
Dans le but de caractériser des couches d'antimoniures épitaxiées ou implantées mal isolées d'un substrat conducteur, nous avons été amenés à utiliser une méthode simple de détermination de la résistance de couche. Cette méthode est décrite ainsi que sa limite de validité en supposant une conduction ohmique ou régie par la génération-recombinaison entre la couche et le substrat.
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Document Information
| Document Title | Détermination de la résistance d'une couche sur substrat non isolant |
|---|---|
| Author / Organization | H. Luquet, L. Gouskov, M. Perotin, M. H. Archidi, F. Pascal, G. Bougnot |
| Subject & Discipline | Multidisciplinary Academic Open Research |
| Categories | Science & Mathematics |
| Publication Year | 1990 |
| License / Rights | Open Access / Creative Commons |
| Resource Verification | Listed PDF (Verification Pending) |
| Original Host Website |
HAL Open Science
(hal.science)
|
| File Format | application/pdf (Portable Document Format) |
| Language | EN |
| Catalog ID | DOC-34448 |
| Original Source Link | Visit Source Page on hal.science » |