Elaboration de couches minces supraconductrices Y1Ba2CU3O7 par pulverisation magnetron r.f.
Overview & Synopsis
Des couches minces d'oxyde supraconducteur Y1Ba2CU3O7 ont été préparées par pulvérisation magnétron r.f. d'une cible stœchiométrique 1 : 2 : 3 selon un procédé en deux étapes: dépôt amorphe suivi d'un recuit de cristallisation. Cet article décrit les difficultés inhérentes à cette méthode ainsi que les solutions qui leur ont été apportées. Une géométrie particulière des électrodes permet d'obtenir des couches minces de composition proche de la stœchiométrie sur une surface de diamètre supérieur à 40 mm. Par un recuit de cristallisation approprié, des transitions résistives de largeur inférieure à 2 K ont été mesurées sur des couches minces déposées sur YSZ, MgO et SrTiO3. Les meilleurs résultats sont obtenus pour SrTiO3 avec une densité de courant critique supérieure à 106 A/cm2 à 77 K.
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Document Information
| Document Title | Elaboration de couches minces supraconductrices Y1Ba2CU3O7 par pulverisation magnetron r.f. |
|---|---|
| Author / Organization | G. Garry |
| Subject & Discipline | Multidisciplinary Academic Open Research |
| Categories | Science & Mathematics |
| Publication Year | 1991 |
| License / Rights | Open Access / Creative Commons |
| Resource Verification | Listed PDF (Verification Pending) |
| Original Host Website |
HAL Open Science
(hal.science)
|
| File Format | application/pdf (Portable Document Format) |
| Language | EN |
| Catalog ID | DOC-236877 |
| Original Source Link | Visit Source Page on hal.science » |