Interfaces dans les revêtements de carbure de silicium

Overview & Synopsis

Les revêtements protecteurs de SiC, généralement élaborés par CVD à partir du mélange précurseur MTS / H2, peuvent se présenter sous forme de multicouches et dans cette configuration, il est impératif que les couches élémentaires adhèrent correctement entre elles. Toutefois, lors du passage d’une couche à l’autre, il arrive que les conditions opératoires fluctuent ponctuellement (au cours de régimes dits transitoires), ce qui modifie localement les caractéristiques du solide déposé et engendre la création de zones interfaciales, susceptibles d’altérer les propriétés d’adhérence. Dans le cadre de cette étude, les régimes transitoires liés à une diminution de la proportion de H2 dans le mélange précurseur, avec formation d’interphases extrêmement riches en carbone, se sont avérés les plus pénalisants : des décohésions interfaciales ont été observées, notamment via l’utilisation du test de rayage. Pour améliorer l’adhérence de tels systèmes, un traitement in situ, à base de NH3, permettant d’éliminer les couches carbonées indésirables, a été proposé.