Mise au point et caractérisation de scellement anodique
Overview & Synopsis
La soudure anodique est une technique d’assemblage qui permet la réalisation de composant à l’échelle du micron. Cette technique qui a pour principe de souder deux plaques (verre/silicium) appelées wafers nécessite des étapes préalables. Au vue des prix des machines utilisées pour la soudure anodique, les abaques existent pour les matériaux standards. Cependant pour ce projet nous utilisons des matériaux résistif, fin avec cavité.
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Document Information
| Document Title | Mise au point et caractérisation de scellement anodique |
|---|---|
| Author / Organization | Maxime Daudy |
| Subject & Discipline | Multidisciplinary Academic Open Research |
| Categories | Science & Mathematics |
| Publication Year | 2017 |
| License / Rights | Open Access / Creative Commons |
| Resource Verification | Listed PDF (Verification Pending) |
| Original Host Website |
HAL Open Science
(hal.science)
|
| File Format | application/pdf (Portable Document Format) |
| Language | EN |
| Catalog ID | DOC-152404 |
| Original Source Link | Visit Source Page on hal.science » |