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V Vallejo-Otero, Arnaud Valour, Stéphanie Reynaud, Émilie Gamet, Nicolas Crespo-Monteiro, Yves Jourlin

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Nouveau procédé de micro-nanostructuration de couches de nitrure de titane (TiN) par la combinaison d'un sol-gel d'oxide de titane (TiO 2 ) et d'un recuit rapide thermique (RTA)

Year: 2022 • Source: hal.science • Listed PDF

Le nitrure de titane (TiN) est communément utilisé pour ses propriétés thermiques, mécaniques, électriques et optiques. Il est aussi utilisé pour des applications plasmoniques et pour réaliser des métasurfaces offrant de...