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Bär, Manfred [Hrsg.]

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MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Year: 2021 • Source: www.doabooks.org • External Catalog

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts""...