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A. Bendraoui, Y. El Younoussi, Malo Cadoret

Public reference bibliography and cataloged PDF materials authored or published by A. Bendraoui, Y. El Younoussi, Malo Cadoret.

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Recuits, dans un réacteur d'épitaxie, de substrats InP sous atmosphère de PH3, AsH3 ou chlorure d'indium, suivis in situ par ellipsométrie

Year: 1989 • Source: hal.science • Listed PDF

Afin d'améliorer les transitoires dans la fabrication des hétérostructures par épitaxie en phase vapeur et d'étudier la faisabilité de dépôts couche par couche, l'état de surface de substrats InP a été contrôlé par suivi...